中化新網(wǎng)訊 近日，滄州臨港經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)傳來消息——滄州華宇特種氣體科技有限公司年產(chǎn)5000噸電子特種氣體項(xiàng)目正式投產(chǎn)。該項(xiàng)目采用國產(chǎn)化率達(dá)95%的硅烷氣生產(chǎn)裝置，是目前全國單套產(chǎn)能最大的硅烷氣生產(chǎn)線。

公司總經(jīng)理徐立勇表示：“項(xiàng)目投產(chǎn)后，年產(chǎn)能達(dá)5000噸，預(yù)計(jì)年產(chǎn)值20億元、稅收3.2億元，將大幅提升我國電子級硅烷氣的自主供應(yīng)能力?！?/p>

該項(xiàng)目于2023年1月啟動建設(shè)，依托中國科學(xué)院工程研究所的技術(shù)支持，采用國際領(lǐng)先的“反應(yīng)精餾歧化技術(shù)”，創(chuàng)新性地將傳統(tǒng)三塔精餾工藝優(yōu)化為單塔耦合系統(tǒng)，使蒸汽消耗大幅降低，生產(chǎn)成本較行業(yè)平均水平減少20%-30%。

“下一步，公司將充分利用硅烷氣副產(chǎn)物四氯化硅，向下游延伸布局硅酸乙酯、電子級白碳黑等高端電子化學(xué)品及新材料項(xiàng)目，進(jìn)一步完善產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)。”徐立勇表示，未來企業(yè)將立足打造北方規(guī)模最大、技術(shù)最先進(jìn)的電子化學(xué)品及新材料產(chǎn)業(yè)園，為國產(chǎn)半導(dǎo)體和新能源產(chǎn)業(yè)提供更強(qiáng)支撐。

電子特種氣體被稱為“芯片血液”，應(yīng)用在集成電路制造中的薄膜沉積等環(huán)節(jié)，是晶圓生產(chǎn)中的關(guān)鍵材料。電子級硅烷氣是一種高純度的電子特種氣體，不僅用于電子半導(dǎo)體、光伏能源、顯示面板等領(lǐng)域，更是高性能鋰電池硅碳負(fù)極材料、顆粒硅的最主要的原材料，對提升新能源電動汽車?yán)m(xù)航能力和降低光伏產(chǎn)業(yè)成本具有重要意義。